派克HiFlour具有独特的技术工艺,耐高温, 弥补了氟橡胶和全氟橡胶之间的性能差距。具有类似全氟橡胶的耐化学性和清洁度以及氟橡胶的热性能,可以显著节约成本 。应用于半导体晶圆制程的工艺中,例如,清洗、湿法刻蚀、镀铜、光刻/显影等等制程工艺。
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